На поверхні для літографії швидко з’ясовується, що навіть незначна зміна температури у півградуса може змінити профіль фотополімеру. А якщо температура на краях занадто висока, то на поверхні пластини з’являються вади. У чистій кімнаті класу 1–100 навіть одна частинка від нагрівача може зіпсувати всю партію продукції. Тож ми створили печь для чистих кімнат із інфрачервоними нагрівачами, які забезпечують контроль температури саме на поверхні пластини, а не в приміщенні загалом.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми використовуємо кварцеві емітери коротков хвильового інфрачервоного світла для прямого опромінення; час реакції становить менше секунди. Контроль у замкнутому циклі забезпечує однорідність температури по всій поверхні пластини при значенні ±0,1°C. Це дозволяє зберігати параметри процесу стабільними в кожній партії продукції. Корпус нагрівача виготовлений з нержавіючої сталі, з герметичними з’єднаннями та матеріалами з низьким рівнем випаровування. Це дозволяє уникнути утворення частинок. Конструкція печі призначена для роботи в чистих кімнатах, де рівень забруднення вимірюється в частинах на кубічний фут.
Чому це ефективно на практиці
Фотополімер чутливий до температури. Чіткий контроль температури дозволяє уникнути вад на краях пластини та забезпечує кращий контроль критичних розмірів. Це значно скорочує кількість переробок та відходів. Швидка реакція на зміни температури дозволяє скоротити час обробки без перевищення заданих параметрів. Крім того, оскільки тепло передається безпосередньо на пластину, а не на стіни та систему відведення повітря, споживання енергії зменшується. Справжнім показником надійності є можливість постійної роботи системи – вона працює 24/7 за умови планового технічного обслуговування, без несподіваних зупинок.
Що потрібно враховувати
Інфрачервоне опалення потребує прямого видимого зв’язку між емітером та пластиною, тож орієнтація та відстань між ними повинні відповідати конфігурації камери. Якщо емітер буде закритий, з’являться „холодні зони“. Перед встановленням необхідно перевірити напругу та сумісність раз’ємів з контролером печі. Також потрібно переконатися, що шлях відведення повітря відповідає напрямку потоку повітря в чистій кімнаті. Необхідно також регулярно перевіряти емітери для забезпечення однорідності температури в процесі обробки.