Tại sao chúng tôi lại quan tâm đến việc kiểm tra khả năng cách điện của các bộ sưởi dùng cho wafer?
Khi vận hành wafer trong môi trường chân không cao, không có chỗ cho sai sót nào cả. Chỉ cần một lỗi nhỏ liên quan đến dòng điện thôi cũng đủ khiến toàn bộ quy trình sản xuất bị phá hỏng, và bạn sẽ gặp rất nhiều rắc rối.
Chúng tôi chế tạo các bộ sưởi sao cho chúng có thể chịu được những điều kiện nhiệt độ khắc nghiệt. Nhưng kẻ thù thực sự lại là sự suy giảm khả năng cách điện. Chỉ cần một lỗ nhỏ trên lớp vỏ bọc hoặc dây dẫn bị hư hỏng nhẹ cũng có thể gây ra hiện tượng điện arcing. Đó là tình huống tồi tệ mà chúng tôi cố gắng ngăn chặn bằng mọi cách.
Lý do chúng tôi tiến hành kiểm tra khả năng chịu áp lực điện 100%
Chúng tôi không chỉ kiểm tra một vài chiếc bộ sưởi ngẫu nhiên thôi. Mọi bộ sưởi rời khỏi xưởng của chúng tôi đều phải trải qua các bài kiểm tra khắt khe về khả năng chịu áp lực điện và khả năng cách điện.
Việc kiểm tra xem bộ sưởi có hoạt động bình thường hay không thì dễ thôi. Nhưng điều chúng tôi làm là kiểm tra xem lớp cách điện có thể chịu được áp lực cao hay không. Chúng tôi muốn biết liệu lớp cách điện đó có thể chịu đựng được những tác động khắc nghiệt hay không.
Một số khuyết tật thì không thể nhìn thấy được. Ví dụ, một vết nứt nhỏ trên lớp vỏ bọc bằng thạch anh hoặc một khuyết điểm nhỏ trên vật liệu gốm sứ có thể không bị phát hiện trong các bài kiểm tra áp lực thấp. Nhưng ngay khi bộ sưởi được vận hành ở nhiệt độ cao, nó sẽ gặp sự cố.
Bằng cách áp dụng áp lực điện cao trong quá trình kiểm tra, chúng tôi buộc những điểm yếu đó phải lộ ra ngay lập tức. Chúng tôi thà để bộ sưởi bị hỏng ngay trong phòng thí nghiệm còn hơn là để nó bị hỏng bên trong máy móc của khách hàng.
Sự đánh đổi giữa công suất và kích thước
Để đạt được công suất sưởi ấm cao, kích thước của bộ sưởi phải được giảm thiểu. Điều này có nghĩa là khoảng cách giữa bộ phận phát nhiệt và vỏ máy phải cực kỳ nhỏ.
Tuy nhiên, việc thu hẹp khoảng cách này lại gây ra nhiều rủi ro. Nguy cơ xảy ra hiện tượng dòng điện chạy sai đường cũng tăng lên. Bạn có thể đạt được công suất sưởi ấm mong muốn, nhưng điều đó lại tạo ra áp lực lớn lên lớp cách điện.
Hơn nữa, nếu hệ thống nối đất của bạn không đúng vị trí, ngay cả bộ sưởi hoàn hảo cũng có thể bị rò rỉ dòng điện. Đó là lý do tại sao chúng tôi luôn đảm bảo rằng khả năng cách điện của bộ sưởi vẫn ở mức cao hơn nhiều so với ngưỡng cho phép. Đó là cách duy nhất để chúng tôi yên tâm khi sử dụng bộ sưởi này.
Không còn tình trạng “tỷ lệ hỏng hóc cao” nữa
Không ai muốn một bộ phận mới mua về đã bị hỏng ngay sau khi được lắp đặt. Chúng tôi gọi đó là “tỷ lệ hỏng hóc cao”, và đó là yếu tố ảnh hưởng nghiêm trọng đến hiệu suất sản xuất.
Khi bạn mua bộ sưởi từ chúng tôi, bạn không cần lo lắng về việc liệu bộ sưởi có hoạt động ổn định hay không, hay lớp cách điện có đủ khả năng bảo vệ hay không. Tất cả đã được kiểm tra kỹ lưỡng rồi. Bạn chỉ cần kết nối bộ sưởi với hệ thống điện, điều chỉnh nhiệt độ, và tiếp tục công việc của mình một cách yên tâm.