Tận dụng tối đa khả năng làm nóng các wafer silic
Khi làm nóng các wafer silic, điều quan trọng không chỉ là tăng cường mức nhiệt độ, mà còn là xác định xem năng lượng đó được sử dụng ở đâu.
Hãy nghĩ về các bóng đèn thạch anh thông thường: chúng phát ra bức xạ theo mọi hướng. Nếu không có bộ phản chiếu, bạn sẽ lãng phí năng lượng để làm nóng phần bên trong thân máy. Một nửa công suất bị lãng phí như vậy. Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng các bộ phản chiếu được phủ vàng – để ngăn chặn sự lãng phí này và giúp năng lượng được hướng về đúng mục tiêu.
Tại sao lại chọn vàng?
Rất đơn giản: vàng có khả năng phản chiếu sóng hồng ngoại tốt hơn hầu hết các chất liệu khác. Nhôm cũng có thể được sử dụng, nhưng nó dễ bị oxi hóa và mất đi độ bóng khi nhiệt độ tăng cao. Trong khi đó, vàng vẫn giữ được độ bóng của mình, giúp chúng ta có thể hướng năng lượng hồng ngoại chính xác vào wafer. Nhờ vậy, công suất điện bạn sử dụng sẽ được sử dụng một cách hiệu quả.
Vấn đề khó khăn: Khoảng cách
Bạn không thể đặt bóng đèn ngay sát wafer. Nếu làm vậy, một phần của wafer sẽ bị làm nóng quá mức, trong khi phần còn lại thì không được làm nóng đủ. Điều này sẽ gây ra hiện tượng biến dạng hoặc vỡ wafer.
Bạn cần có khoảng cách nhất định để giúp nhiệt độ được phân bổ đều. Nhưng có một vấn đề: càng xa bóng đèn, cường độ nhiệt càng giảm.
Giải pháp là sử dụng lớp phủ vàng dày để bù đắp cho khoảng cách này. Bạn vừa có được sự đồng đều của nhiệt độ, vừa có được hiệu quả làm nóng tương tự như khi bóng đèn được đặt gần wafer.
Thực tế
Vàng rất tuyệt vời, nhưng nó không phải là “phép màu”. Các bộ phản chiếu này rất kén chọn. Chỉ cần một vết ngón tay hay một chút bụi cũng có thể phá hỏng chức năng của chúng. Điều này sẽ làm giảm khả năng phản chiếu của chúng và tạo ra các điểm lạnh trên wafer. Bạn cần phải vệ sinh chúng thường xuyên, hoặc đặt chúng trong buồng kín.
Và cuối cùng, hãy chú ý đến hệ thống làm mát. Toàn bộ năng lượng được phản chiếu sẽ lan tỏa khắp nơi; nếu hệ thống làm mát không hoạt động tốt, thân bóng đèn có thể trở nên quá nóng.