はじめに これらのオーブンが効果的に動作するための要素について、率直に話しましょう。単に普通のランプを使って済ませるわけではありません。ウェーハの乾燥のためには、加熱素子を一から設計しています。半導体製造においては、時間をかけても安定した、均一な熱が必要です。 これは短波赤外線放射体であり、制御さ...

リソグラフィーの現場では、わずか0.5度の温度変化だけでフォトレジストの特性が変わってしまうことを早々に学びます。また、ハードベイク時に端の部分が過度に加熱されると、トラック上に汚れが発生してしまいます。クラス1～100のクリーンルームでは、ヒーターから出る1つの粒子だけで、大量の製品が台無しにな...