클래스 100 청정실에서 적절한 난방을 제공하는 방법
만약 여러분이 클래스 100 청정실에서 작업한다면, 그곳의 끔찍한 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 먼지 한 알, 페인트 조각 하나, 혹은 저품질 실링제에서 나오는 가스만으로도 웨이퍼 전체가 망가질 수 있습니다.
난방과 관련해서는 일반적인 IR 램프가 문제를 일으키곤 합니다. 이 램프들은 입자를 방출하고, 화학물질을 유출시킵니다. 결국 오염물질이 직접 기판 위에 닿게 되는 것입니다.
우리는 이 문제를 해결하기 위해 고순도의 합성 석영을 사용하기로 결정했습니다.
왜 고순도 석영일까요?
대부분의 램프는 일반 석영을 사용하지만, 바이오센서의 경우에는 그걸로는 충분하지 않습니다. 우리는 불순물 함량이 극히 낮은 융합된 규소를 사용합니다.
이것이 중요한 이유는, 열이 가해져도 가스가 배출되지 않기 때문입니다. 게다가 이 램프들은 단파 적외선을 사용하기 때문에, 열이 기판에 거의 즉시 전달됩니다. 정말 빠릅니다.
설계의 세부 사항
우리는 램프의 크기는 작게 유지하면서도 열 밀도는 높게 만들었습니다. 하지만 진짜 비밀은 램프들을 어떻게 조립하는지에 있습니다.
여기에는 접착제나 휘발성 실란트 같은 것은 전혀 없습니다. 녹는 접착제나 부서지기 쉬운 실링제도 없습니다. 모든 것은 기계적으로 고정되거나 융합됩니다. 정밀한 장비를 조립해본 사람이라면 이러한 설계가 얼마나 깔끔한지 알 것입니다.
주의사항
물론, 고순도 석영은 평소에 사용하는 도핑 처리된 유리보다는 조금 더 부서지기 쉽습니다.
그리고 제발, 손으로 이 램프들을 만지지 마세요! 피부의 기름 때문에 유리에 ‘열점’이 생기고, 그로 인해 균열이 생겨 결국 제품이 망가질 수 있습니다. 반드시 작업자들에게 면장갑과 IPA 와이프를 사용하도록 지시해야 합니다.
바이오센서를 제대로 작동시키는 방법
결국, 중요한 것은 바이오잉크가 제대로 경화되거나 기판들이 제대로 결합되도록 하는 것입니다.
우리는 대류를 이용하지 않기 때문에, 방 안에 공기가 흐르지 않습니다. 공기가 흐르지 않으면 먼지도 움직이지 않습니다. 그래서 열이 직접 기판에 전달되고, 안정적인 환경이 조성됩니다. 그리고 가장 중요한 것은, 제품이 계속 깨끗하게 유지된다는 것입니다.