서론 이러한 오븐이 제대로 작동하는 이유를 제대로 알아보도록 합시다. 우리는 그냥 일반적인 램프를 사용하는 것으로는 만족하지 않습니다. 반도체 가공 과정에서는 열이 꾸준하고 일관된 상태를 유지해야 하기 때문에, 웨이퍼 건조용 히팅 요소는 처음부터 철저히 설계됩니다....

리소그래피 공정에서는, 약간의 온도 변화만으로도 포토레지스트의 특성이 변할 수 있다는 것을 빠르게 깨닫게 됩니다. 또한, 하드 베이크 과정에서 가장자리 부분의 온도가 너무 높아지면, 웨이퍼 표면에 이상 현상이 발생하게 됩니다. 클래스 1–100 등급의 청정실에서는,...