웨이퍼를 따뜻하게 유지하기: 왜 우리는 트롤리에 적외선 가열 방식을 사용하는가? 웨이퍼를 한 가공 단계에서 다른 단계로 옮길 때는 온도가 매우 중요합니다. 오랫동안는 대류식 오븐이 주로 사용되었지만, 솔직히 말해 그건 낭비입니다. 몇 개의 웨이퍼를 따뜻하게 유지하기...

더 이상 추측하지 마세요: 스마트 팩토리의 온도를 효과적으로 관리하는 방법 디지털화된 인더스트리 4.0 팩토리를 구축한다면, 기존의 대류식 난방 방식은 더 이상 적합하지 않다는 것을 알고 있을 것입니다. 속도가 너무 느리고, 관리도 어렵습니다. 그래서 우리는 적외선...

와이퍼 제조 공정에서의 에너지 낭비를 막으세요. 공장을 업그레이드할 때, 에너지를 낭비하는 것은 결국 돈을 낭비하는 것과 같습니다. 웨이퍼를 가열할 때는 단순히 ‘많은 열’만 필요한 것이 아니라, 그 에너지가 실제로 웨이퍼 표면에 도달해야 합니다. 문제는 대부분의 일...

실제 작업 환경에서는, 포토레지스트가 약간의 온도 변동도 용납하지 않습니다. 소프트 베이크 과정에서 온도가 2°C만 변해도, 노출 후 특성이 왜곡될 수 있습니다. 하드 베이크의 경우 가장자리 부분의 온도가 너무 높아지면 에칭 프로파일이 손상됩니다. 이러한 문제를 해결...

리소그래피 공정에서는, 약간의 온도 변화만으로도 포토레지스트의 특성이 변할 수 있다는 것을 빠르게 깨닫게 됩니다. 또한, 하드 베이크 과정에서 가장자리 부분의 온도가 너무 높아지면, 웨이퍼 표면에 이상 현상이 발생하게 됩니다. 클래스 1–100 등급의 청정실에서는,...