클린룸 벤치 적외선 램프

실제 작업 환경에서는, 포토레지스트가 약간의 온도 변동도 용납하지 않습니다. 소프트 베이크 과정에서 온도가 2°C만 변해도, 노출 후 특성이 왜곡될 수 있습니다. 하드 베이크의 경우 가장자리 부분의 온도가 너무 높아지면 에칭 프로파일이 손상됩니다. 이러한 문제를 해결...