램프 고장으로 인해 생산된 웨이퍼들이 망가지는 일을 막으세요. 대량 생산 환경에서 램프가 고장 나는 것은 큰 문제입니다. 하지만 석영관이 터진다면 그건 정말 끔찍한 상황입니다. 그런 일이 발생하면 유리 조각과 화학 물질들이 웨이퍼 위로 떨어집니다. 단 한 번의 고장만...

서론 웨이퍼 제조 과정에서 올바른 온도를 유지하는 것은 단순한 세부 사항이 아닙니다. 이는 우수한 제품을 생산하는 것과 실패로 끝나는 것을 가르는 중요한 요소입니다. 공정상 온도가 0.1도 이내로 일정해야 한다면, 가열 인터페이스는 결코 소홀히 할 수 없습니다. 반드...