세척용 방수 적외선 램프

웨이퍼 플로어에서 린스 단계의 온도 안정성은 선택 사항이 아니다. 이는 실제 공정 제어 변수이다. 린스 워터의 온도가 변동하면, 포토레지스트 잔류물과 엣지 비드가 남기 시작한다. 입자 수가 증가하고 양품 로트가 폐기된다. 우리는 린스 구역의 열 균일성을 ±0.1°C...