
Stop met het verspillen van energie in uw waferfabriek
Als u uw fabriek wilt upgraden, weet u dat het verspillen van energie in feite betekent dat u geld weggooit. Wanneer u waferën opwarmt, heeft u niet alleen ‘veel warmte’ nodig; u hebt ook energie nodig die daadwerkelijk de oppervlakte van de wafer bereikt.
Het probleem? De meeste standaardkwartslampen zijn inefficiënt. Ze verdelen de energie in alle richtingen, waardoor veel van die dure energie nooit de juiste plek bereikt. Daarom gebruiken we reflectoren die bedekt zijn met goud. Hierdoor kunnen we de energieverliezen beperken.
De kracht van goud
Stel je eens voor dat er sprake is van een standaard infrarood-emitter: deze zendt energie uit in een cirkel van 360 graden. In een schone omgeving raakt de helft van deze warmte alleen maar de behuizing of verdwijnt ze in de lucht.
We lossen dit op door een dunne laag goud op de reflector aan te brengen. Goud is uitstekend in het terugkaatsen van infrarood-straling. In plaats van dat de fotonen ergens anders naartoe gaan, worden ze rechtstreeks richting de wafer gestuurd. Elke watt die u uit het netwerk haalt, wordt dus goed benut.
Kort over koeling
U kunt geen goudbedekte lamp zomaar in een oude apparatuur stoppen en denken dat het klaar is. Eerst moet u controleren hoe de koeling werkt.
Omdat goud de warmte zo goed concentreert, neemt de intensiteit op de focale plek toe. Als uw koelsysteem hier niet tegen bestand is, kan dat leiden tot problemen met de lamp of oververhitting van de randen van de wafer. Controleer dus eerst de luchtcirculatie en de koelingsmechanismen voordat u de lamp inschakelt.
Wat dit voor u betekent
Het gaat hier niet om een abstracte ‘verbetering’. Het gaat erom dat u een nauwkeuriger controle heeft over het proces. U zult snellere opwarmtietijden zien en een gelijkmatige verdeling van de warmte over de wafer. Geen meer lastige koudepunten die defecten veroorzaken. Bovendien heeft u nu meer mogelijkheden: u kunt de totale energieverbruik aanpassen om de gewenste temperatuur te bereiken, of u kunt hogere temperaturen bereiken zonder dat u de voornaamste energievoorziening hoeft te vervangen. Het maakt het leven gewoon gemakkelijker.