Op de afdeling voor lithografie leer je al snel dat een lichte verhoging van de temperatuur met een halve graad al voldoende is om het profiel van de fotorezyst te veranderen. Als de temperatuur aan de randen te hoog wordt, zal er vuil ontstaan op het oppervlak van de wafer. In een schone ruimte van klasse 1–100 kan één enkele deeltje afkomstig van een verwarmingsapparaat al tot problemen leiden. Daarom hebben we de oven in deze schone ruimte uitgerust met infrarode verwarmers die ervoor zorgen dat de warmte alleen op de wafer terechtkomt, en niet in de omgeving van de oven.
Wat technisch gezien belangrijk is: We gebruiken kwartsemissoren met kortegolflengte-infraroodlicht voor directe stralingsverwarming. Hierdoor is er een respons van minder dan een seconde. Dankzij de gesloten regelingscyclus blijft de temperatuur over het hele oppervlak van de wafer constant bij ±0,1°C. Hierdoor blijven de profielen van de zachte en harde bewerkingen altijd binnen de vereiste parameters. Het verwarmingsapparaat is gemaakt van roestvrij staal, met afgesloten verbindingen en materialen die minimale uitstoot van deeltjes veroorzaken. De constructie is zo ontworpen dat er geen deeltjes worden gegenereerd. De oven is ook geschikt voor gebruik in schone ruimtes, waar de concentratie deeltjes per kubieke voet wordt gemeten.
Waarom het werkt in de praktijk: Fotorezyst is gevoelig voor temperatuurveranderingen. Een constante temperatuur zorgt voor een betere controle over de afmetingen van de wafer, waardoor er minder herwerking en afval is. De snelle reactie van de verwarming zorgt er bovendien voor dat de bewerkingstijd korter is, zonder dat er te hoge temperaturen ontstaan. Hierdoor neemt de productiecapaciteit toe. Omdat de warmte rechtstreeks op de wafer terechtkomt, in plaats van de muren en ventilatiesystemen, wordt de energiebesparing vergroot. De betrouwbaarheid van het systeem wordt bepaald door de tijd dat het systeem continu werkt – dit systeem werkt 24/7, zelfs tijdens planningsgemotiveerde onderhoudswerkzaamheden.
Dingen om in gedachten te houden: Voor infrarode verwarming is een goed zichtlijn nodig. Daarom moeten de positie en het interval tussen de wafers overeenkomen met de indeling van de oven. Als er iets voor de emissor komt te staan, ontstaan er koude plekken. Controleer voor installatie eerst de spanning en de compatibiliteit van de connectoren met de ovencontroller. Zorg er ook voor dat de ventilatiewegen goed worden aangesloten op de luchtcirculatie in de schone ruimte. Plan regelmatige controles van de emissoren in, zodat de temperatuur constant blijft binnen de vereiste grenzen.