晶圆脱气红外加热器

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤不仅仅是达到一个温度。关键尺寸控制完全取决于热预算——这是绝对的。当脱气性能开始偏离时，你会立刻察觉到：边缘珠、起脚、颗粒峰值，这些都会导致晶圆报废。我们设计的晶圆脱气红外加热器，旨在消除软烘和硬烘过程中的这种不确定性，一班接一班地稳定运行。 技术关键点 我们采用短波红外，...