अपने ओवन का इंतज़ार करना बंद करें: फैब में IR क्यों लोकप्रिय हो रहा है?
यदि आपने सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंग से संबंधित काम किया है, तो आपको चैंबर के गर्म होने का इंतज़ार करने की परेशानी पता ही होगी। वर्षों तक हम गर्म हवा का उपयोग करते रहे, उम्मीद करते रहे कि ऐसा करने से वेफर सही तापमान तक पहुँच जाएगा। लेकिन अब स्थिति बदल गई है। अब हम धीरे-धीरे ब्लोअरों के बजाय इन्फ्रारेड (IR) तकनीक का उपयोग कर रहे हैं।
इसका अंतर बहुत ही सरल है। गर्म हवा का उपयोग करने में बहुत समय लगता है। पहले हवा गर्म होती है, फिर वह हवा दीवारों को गर्म करती है, और अंत में दीवारें ही वेफर को गर्म करती हैं। लेकिन IR तकनीक में ऐसा नहीं होता। यह एक तरह का विकिरण है… अर्थात् ऊर्जा सीधे लैंप से ही सब्सट्रेट तक पहुँच जाती है।
यह बहुत ही तेज़ है… वाकई में।
गर्म हवा का उपयोग करने में बहुत समय लगता है… कभी-कभी तो मिनटों, या घंटों तक। लेकिन IR लैंप “तुरंत ही गर्म हो जाते हैं”… स्विच दबाते ही वेफर सही तापमान तक पहुँच जाता है। ऐसे में फैब चलाने वालों को कम समय लगता है, और खाली हवा को गर्म करने में खर्च होने वाला पैसा भी कम हो जाता है।
लेकिन आप कोई भी साधारण बल्ब इसमें इस्तेमाल नहीं कर सकते। हम उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज शील्डों का ही उपयोग करते हैं… क्योंकि ये शील्ड हीटिंग एलिमेंट की रक्षा करते हैं… साथ ही छोटी तरंगदैर्घ्य वाले इन्फ्रारेड विकिरण को आसानी से अंदर जाने देते हैं।
इसके अलावा, क्वार्ट्ज बहुत ही मजबूत होता है… यदि आप सस्ते काँच का उपयोग करें, तो ऊर्जा देने के साथ ही वह टूट जाएगा।
बेशक, यह कोई जादुई उपाय नहीं है… इसमें भी कुछ नुकसान हैं। चूँकि विकिरण दिशात्मक होता है, इसलिए यह केवल उसी हिस्से को गर्म कर पाता है जिसे वह “देख सकता है”। यदि आपके वेफर की आकृति अजीब है, तो कुछ हिस्से ठंडे ही रह जाएँगे। इसलिए आपको ध्यान से ही लैंपों की स्थिति एवं रिफ्लेक्टरों की दिशा तय करनी होगी… ताकि गर्मी समान रूप से फैल सके।
फिर भी, अपने समय की बचत के लिए IR तकनीक का उपयोग करना ही सबसे अच्छा विकल्प है। आप अब हवा की धीमी गति से लड़ने के बजाय प्रकाश की गति का ही उपयोग कर सकते हैं।
बस एक बात ध्यान रखें… आपकी कूलिंग प्रणाली पर्याप्त मजबूत होनी चाहिए… क्योंकि लैंप के आसपास बहुत ही अधिक गर्मी होती है।