熱の無駄遣いをやめよう：なぜ金製の反射板が重要なのか
半導体製造において、無駄になる1ワットの電力は、まさに無駄に消えてしまうお金と同じです。
多くの人々は、従来のアルミニウム製の反射板を使っています。確かに十分機能しますが、赤外線エネルギーが隙間から漏れ出してしまう傾向があります。その結果、ウェーハ上に「冷たい部分」ができ、電気代も過剰にかかってしまいます。
私たちは、より良い方法を見つけました。金コーティングを使って、逃げていくエネルギーを再び元の場所に戻すのです。
なぜ金なのか？（見た目だけの理由ではない）
アルミニウムは信頼性が高い材料ですが、長波長の赤外線に対しては効果が悪いです。一方、金は全く異なります。光子を的確にターゲットに戻す能力が非常に高いのです。
つまり、金を使用することで、壁から得られるほぼ全てのエネルギーがウェーハに届くようになります。これにより、熱が均一に分散され、不均一な分布になることがありません。
正確な焦点の設定
コーティングだけでは不十分です。形状も重要です。
金層と正確な放物線形または楕円形の曲線を組み合わせることで、必要な場所に熱を集中させることができます。これにより、ウェーハが処理温度に到達する時間が大幅に短縮されます。
ただし、注意点もあります。
これらの反射板は非常に優れているため、より多くのエネルギーがワークピースに送られます。その結果、周囲の筐体が通常よりも早く熱くなる可能性があります。もし筐体がその余分な熱負荷に耐えられない場合、取り付け部が歪んでしまう可能性があります。留意しておくべき点です。
ご自身の工場での利用方法
最良な点は、設備全体を再構築する必要がないことです。これらは、既存の赤外線ランプ用の筐体に直接取り付けられるように設計されています。
私たちは、「放射率の問題」に重点を置いて開発しました。反射板自体が熱を吸収しないようにすることで、ハードウェアが巨大なヒートシンクのように機能するのを防ぎます。
そうすることで、機械のフレームを温めるためのエネルギーが無駄にならず、そのエネルギーがウェーハに使われます。これにより、電気インフラを再構築することなく、生産性を向上させることができます。