故障したランプによって生産が止まってしまわないようにしましょう。
高負荷の半導体製造を行っている方なら、その恐ろしい状況をご存知でしょう。赤外線ランプが壊れてしまうと、単にヒーターが使えなくなるだけではありません。石英の破片やハロゲンガスがウエハーに降り注ぎます。本当にひどい状況です。そして、それは莫大な費用を伴います。
私たちは、このような「悪夢のような状況」が起こらないように、特別に設計された赤外線素子を使用しています。
破片が内部に残らないように
ケースには高純度の融着石英を使用しています。これにより、急速な加熱・冷却によるストレスにも耐えられます。しかし、それだけではありません。さらに、保護用のスリーブや特殊なコーティングを施すことで、破片が飛び散るのを防ぎます。これはまるで安全ネットのようなものです。フィラメントが壊れてチューブが割れても、破片が外部に出ず、ウエハーが汚れることはありません。
熱対策
迅速に動作させるためには高ワット数が必要です。しかし、そうすると、熱がウエハーだけでなく、ケース内にも蓄積されます。問題は、グローブボックスの換気機能がその熱に対応できない場合、フィラメントが予想よりも早く劣化してしまうことです。重要なのは、熱が集中しないようにすることです。
小さなことが重要
ほとんどのチューブは、接続部の緩みが原因で壊れてしまいます。なぜかというと、接触不良によってアークが発生し、局所的に過熱するからです。これを解決するために、私たちは強化された接続部を使用しています。また、密封性も優れているため、ハロゲンガスの循環が安定します。これは簡単な対策ですが、それによってランプの寿命が大幅に延び、毎週交換する必要もありません。
もちろん、これらのランプが永遠に使えるわけではありません。どんなフィラメントでも最終的には細くなって壊れてしまいます。それが物理学の法則です。目的は、永遠に使えるランプを作ることではなく、「制御された故障」を実現することです。つまり、ランプが壊れたときでも、簡単なメンテナンスで済み、工場全体の生産が停止するような事態にはならないのです。