Op de productieruimte komt het erop neer dat de temperatuur nauwkeurig moet worden geregeld – dat is simpel gezegd. Een afwijking van 0,5°C tijdens het zacht bakken van de fotoresist, of een koud plekje op het wafeloppervlak tijdens het drogen, kan leiden tot fouten in de afmetingen en tot een hogere concentratie deeltjes. Hierdoor kunnen goede chips veranderen in schroot. We hebben speciale heaters ontworpen met koolstofnanobuizen, zodat deze problemen niet meer optreden.
Wat belangrijk is onder het oppervlak We hebben gekozen voor een verwarmingselement gemaakt van koolstofnanobuizen, omdat dit element snel reageert, zich goed kan lokaliseren en een constante emissiviteit heeft. In combinatie met kortegolf-infraroodlicht kan deze technologie energie efficiënt overdragen. Het resultaat is een uniforme temperatuur over het actieve gebied van ±0,1°C, en een herhalbaarheid van ±0,2°C. De regeling van de temperatuur zorgt ervoor dat de temperatuur binnen bepaalde grenzen blijft, zonder dat er sprake is van overtollige energieverbruik. De constructie zorgt er bovendien voor dat er geen deeltjes worden gegenereerd, waardoor het systeem geschikt is voor schoonheidssystemen van klasse 1–100. Het gesloten controleproces zorgt ervoor dat het systeem continu kan werken, zonder onverwachte stilstanden.
Waarom dit belangrijk is in de lithografie en daarbuiten In de lithografie is het belangrijk om een constante temperatuur te hebben, zodat de viscositeit van de fotoresist correct is en de oplosmiddelen verdwijnen. Tijdens het hard bakken is het belangrijk om een consistente kruislinksing te bereiken, zodat het patroon behouden blijft. Onze heaters zorgen voor de benodigde uniformiteit en herhalbaarheid, waardoor de afmetingen precies zijn en de variabiliteit aan de randen wordt verminderd. Het drogen van het wafeloppervlak verloopt efficiënter, waardoor er minder defecten op het oppervlak ontstaan en er minder herwerk nodig is.
De snelle reactietijd verkort de productietijd, en het efficiënte NIR-licht verlaagt het energieverbruik per batch. Hierdoor kunnen er meer producties worden uitgevoerd, wordt er minder schroot geproduceerd en kunnen de onderhoudsintervallen langer duren.
Wat je moet meenemen in overwegingen De koolstofnanobuizenheater heeft een eigen stroom- en bedieningsinterface nodig, die past bij je apparatuur en de veiligheidsregels. Er zal waarschijnlijk kort tijd nodig zijn om de temperatuurregeling af te stemmen op je fotoresist en substraat. Het systeem is betrouwbaar, maar je moet nog steeds controleren of de warmteoverdracht naar de chuck en de kamer goed werkt. Zodra dit geregeld is, blijft het proces stabiel. Er wordt alleen gewerkt wanneer jij dat wilt.