Op de productielijn vormt de thermische afwijking tijdens het bakken van de photoresist of het drogen van de wafers geen klein probleem. Deze afwijkingen zorgen voor veranderingen in de cruciale dimensies van de wafers en leiden tot een lagere opbrengst. We hebben de TEL-verwarmer ontworpen om de procestemperatuur stabiel te houden, keer op keer.
Wat belangrijk is onder de motorkap
De verwarmer maakt gebruik van een kortegolfhalogeenemitter die zich bevindt in een envelop van hoogzuiver kwarts. Hierdoor kan de temperatuur op het niveau van de wafer worden gehouden bij ±0,1°C. De respons van de verwarmer is snel, zodat er geen temperaturenpieken optreden tijdens het bakken.
In schone ruimtes van klasse 1–100 is het absoluut noodzakelijk dat er geen deeltjes worden gegenereerd. Dit ontwerp zorgt ervoor dat het aantal deeltjes constant blijft, zelfs na duizenden thermische cycli. De herhaalbaarheid van de resultaten blijft boven de 5.000 uur, met een afwijking van minder dan 5%.
Waarom dit past bij het proces
Bij lithografie is het zeer belangrijk om de temperatuur nauwkeurig onder controle te houden. De verwarmer zorgt voor consistente bakprofielen, waardoor de opbrengst wordt verbeterd en de kosten dalen. Voor het reinigen en drogen van wafers haalt de verwarmer de vochtigheid van het oppervlak weg, zonder dat er thermische spanningen ontstaan. Hierdoor kan het proces sneller worden uitgevoerd met minder materialen. Bij het verpakken zorgt de verwarmer er voor dat de encapsulanten en ondervullingen snel en gelijkmatig worden gedroogd, waardoor de benodigde tijd in de oven wordt verkort en de energieverbruik wordt verminderd. Het resultaat is minder herwerkingen, betere controle over de kwaliteit en betrouwbare planningen.
Praktische details
De verwarmer past in standaard TEL-platforms met passende connectoren en bevestigingsmogelijkheden. Echter, het is belangrijk dat de afstand tussen de verwarmer en de wafer precies wordt gemeten. Er is een korte inwerkperiode nodig voordat de verwarmer optimaal kan werken. Houd je aan de voorgeschreven stroomvoorzieningsprofielen om de levensduur van de emitter te behouden en de gewenste consistentie van ±0,1°C te behouden.