Een betere manier om IR-ovens te gebruiken
Wanneer je wafern droogt of fotoresist hard maakt, wil je geen tijd verspillen aan het opwarmen van een enorme metalen kast. Daarom gebruiken we UHP-lampen (ultra-hoog zuivere lampen).
Stel je voor dat je moet wachten tot de hele oven op temperatuur is, in plaats van een broodrooster te gebruiken. In plaats van de lucht op te warmen, stralen deze lampen kortegolf-infraroodstraling rechtstreeks naar het substraat.
Het is direct. Het is snel.
We gebruiken tangstoffilamenten met een hoge dichtheid, omhuld in kwarts van hoge zuiverheid, om dit mogelijk te maken. De IR-golven raken het halfgeleidermateriaal en zorgen er direct voor dat het materiaal opwarmt. Er wordt geen energie verspild aan het opwarmen van de wanden van de machine – de warmte gaat precies waar het nodig is. Het is dus een slimme manier om energie te besparen.
Er is ook nog het ‘groene’ aspect.
Als je werkt met loodvrije lassen of milieuvriendelijke methoden, is het temperatuurbereik zeer beperkt. Te heet? Dan wordt het substraat beschadigd. Te koud? Dan houdt de verbinding niet stand.
Het voordeel van UHP-lampen is dat ze binnen milliseconden reageren. Je kunt de warmte bijna onmiddellijk inschakelen of uitschakelen. Omdat de controle zo precies is, hoef je geen gevaarlijke chemische oplosmiddelen meer te gebruiken. Geen VOC’s, geen loodhoudende producten. Alleen maar schone, efficiënte warmte.
Er is echter wel een nadeel: deze lampen genereren veel warmte in een klein gebied. Dat zorgt voor veel druk op de stroomvoorziening. Je moet dus goed opletten hoe je de warmte afvoert. Als de ventilatoren of koelmiddelen niet goed genoeg zijn, kunnen de elektronische onderdelen rondom de lamp beschadigd raken. Je moet dus het juiste evenwicht vinden tussen de uitstoot van de lamp en de snelheid waarmee je het systeem kan koelen. Anders moet je vaak nieuwe onderdelen vervangen.
Omdat deze lampen worden gebruikt in schone ruimtes, behandelen we het kwarts zodat er geen gassen vrijkomen. Op die manier komt er niets van de lamp terecht op de wafer tijdens het proces. Eenvoudig, schoon en effectief.