MEMSセンサーワイヤー乾燥ヒーター

MEMSウエハを乾燥させるのに時間を無駄にしないでください。 もし、エッチングや洗浄後に依然として強制送風式の熱風を使ってウエハを乾燥させているなら、それは単に無駄な時間の浪費に他なりません。 多くの工場でこのような状況が見られます。熱風は安全そうに思えますが、実際には遅いのです。まず空気を加熱し...