更佳的红外固化方法
在干燥晶圆或固化光刻胶时，我们当然不想浪费时间去加热整个金属容器。因此，我们使用超纯度加热灯来解决问题。
可以想象一下，与其等待整个烤箱预热，不如直接使用烤面包机。这类加热灯不会让空气升温，而是直接将短波红外辐射传递到被加工的半导体材料上。
这种方式更直接，也更快。
为了实现这一效果，我们使用了包裹在高纯度石英中的高密度钨丝。红外光束一旦照射到半导体材料上，就会立即转化为热量。这样一来，就不必再浪费能量去加热机器的各个部件——热量会直接作用于需要加热的地方。这无疑是一种更高效的节能方式。
另外，从环保的角度来看，如果使用无铅焊料或环保型固化剂，那么温度控制就显得非常重要。温度过高会导致晶圆损坏；而温度过低则会导致材料无法牢固结合。
超纯度加热灯的优点在于，它们能在几毫秒内做出反应。你可以几乎立刻开启或关闭加热功能。由于控制精度非常高，因此无需再使用那些有害的化学溶剂和催化剂。没有挥发性有机化合物，也没有含铅的助焊剂。只有纯净的红外热能而已。
不过，这种灯也有一个缺点：它会在极小的空间内产生大量热量。这会给电源带来很大压力，因此必须确保冷却系统能够有效散热。如果风扇或散热器无法胜任这项任务，那么加热灯周围的电子元件就会因为过热而损坏。因此，必须找到合适的平衡点，让加热灯的发热量与系统的散热能力相匹配，否则就需要频繁更换损坏的部件。
由于这些设备通常安装在洁净室中，因此我们会对石英材料进行处理，以防止其释放气体。这样，就不会有任何物质在处理过程中附着在晶圆上。简单、高效，而且效果非常好。