クラス100のクリーンルームで適切な加熱を実現するには
もしクラス100のクリーンルームで作業しているのであれば、その悩みはよく理解していることでしょう。ほんのわずかなほこりや塗料の破片、安価なシール材から発生するガスだけで、ウエハー全体が使えなくなってしまいます。
加熱に関して言えば、一般的な赤外線ランプが問題の原因です。これらのランプは粒子を放出し、化学物質も漏れ出します。つまり、汚染物質が直接基板上に付着してしまうのです。
そこで私たちは、高純度の合成石英を使用することでこの問題を解決しました。
なぜ高純度の石英を使うのか？
ほとんどのランプでは標準的な石英が使われていますが、バイオセンサーにはそれでは不十分です。私たちは、不純物含有量が極めて低い融解石英を使用しています。
これが重要な理由です。高温になってもガスが放出されないのです。さらに、このランプは短波長の赤外線を利用しているため、熱が基板上に即座に届きます。とても速いのです。
設計の詳細
私たちは、装置のサイズを小さくしつつ、熱密度を高くしました。しかし、本当の秘訣は、これらの部品をどのように組み合わせるかにあります。
ここには接着剤や揮発性のシーリング剤は一切使用されていません。溶けるような接着剤や剥がれやすいガスケットもありません。すべては機械的に固定されているか、溶接されているのです。精密機器の配線をしたことがある人なら、このクリーンさがどれほど素晴らしいかお分かりいただけるでしょう。
注意点
もちろん、利点と欠点があります。高純度の石英は、通常使われているドープされたガラスよりも少しもろいです。
そして、どうか、絶対に素手でこれらのチューブに触れないでください。
皮膚から出る油分がガラス上に「ホットスポット」を作り、それがひび割れを引き起こし、最終的には製品が壊れてしまいます。作業員には、必ず静電気防止の手袋やIPAウェップを使うように伝えてください。毎回です。
バイオセンサーを実際に機能させる
結局のところ、重要なのは、面倒なことなく、バイオインクが固まったり、基板が密着したりすることです。対流に頼らないため、部屋の中に空気が流れることはありません。空気が流れないからこそ、ほこりが移動することもありません。直接熱が基板上に届き、安定した環境が得られます。そして何よりも、製品が清潔な状態を保てます。