空気を加熱するのをやめよう：より効率的なファブの運用方法
正直言って、半導体製造工場は電力を大量に消費します。従来の対流式オーブンを使ったことがある人なら、その状況がどんなものかわかるでしょう。ウェハーを適切な温度にするために、空気や壁、床まですべてを温めてしまいます。これは莫大な電力の無駄遣いです。
そこで役立つのが、認定済みのIR硬化ランプです。部屋全体を温める代わりに、直接基板上を加熱します。これにより、性能を損なうことなく、環境に優しい製造を実現できます。
その原理は非常にシンプルです。
通常の加熱方法は、玄関ドアを開けたままヒーターを強く動かして家を温めるようなものです。一方、IRランプは異なります。直線的に進む電磁波を利用しているのです。エネルギーは、ウェハーやフォトレジストに当たるまでは何もしないのです。
つまり、チャンバーの壁に電力を無駄に消耗させることがありません。必要な部分だけを加熱するのです。
クリーンルームでの使用
ファブ内では、「十分に」というわけにはいきません。精密さが求められます。
私たちは、このランプを瞬時に加熱・冷却できるように設計しました。つまり、実際に何かを硬化させている時だけ全出力が働きます。ウェハーが動くとすぐに出力が下がります。これにより効率が向上します。
また、クリーンルームでは汚染が大きな問題になります。そのため、高純度の石英製のケースを使用しています。ガスの放出や不純物の発生もありません。さらに、スペクトル出力が一定であるため、毎回同じ深さで硬化処理が行えます。
注意すべき点
もちろん、これは魔法のようなものではありません。高密度のIRアレイは大量の熱を放出します。
処理過程で大幅な省エネが可能になりますが、冷却システムがそれに追いつけないと、フィラメントが早く壊れてしまいます。
このランプを交換するのは簡単ですが、お願いです——電圧を必ず確認してください。コントローラーが破損する可能性があります。また、位置合わせも丁寧に行ってください。もしランプが誤って機械の枠を温めてしまったら、省エネの意味がありません。