真空チャンバー用赤外線ヒーター

時間の無駄をやめよう：なぜ真空赤外線ヒーターが効果的なのか 半導体の処理に関わったことがある人なら、ウェーハが適切な温度になるまで待つという苦労を知っているはずです。長い間、私たちはチャンバー内に熱い空気を送り込むしかありませんでした。確かにそれでも機能はしましたが、速度が遅く、また、温度分布も完...