IR 건조를 더 효과적으로 처리하는 방법
웨이퍼를 건조하거나 포토레지스트를 경화시킬 때는, 거대한 금속 상자를 가열하는 데 시간을 낭비하고 싶지 않습니다. 그래서 우리는 UHP(초고순도) 히터 램프를 사용하는 것입니다.
이는 마치 오븐이 완전히 예열될 때까지 기다리는 것과 토스터를 사용하는 것의 차이와 같습니다. 이 램프들은 공기를 따뜻하게 하는 대신, 짧은 파장의 적외선을 직접 기판에 전달합니다.
즉각적이고 빠릅니다.
이러한 효과를 얻기 위해 우리는 고순도 석영으로 감싸진 고밀도 텅스텐 필라멘트를 사용합니다. 적외선이 반도체 재료에 닿으면 즉시 열로 변환됩니다. 기계의 벽면을 따뜻하게 하는 데 에너지를 낭비하지 않아도 됩니다. 열은 정확히 필요한 곳으로 가죠. 이는 에너지를 절약할 수 있는 현명한 방법입니다.
또한 환경적인 측면도 고려해야 합니다. 납이 없는 솔더링이나 친환경적인 경화 공정을 사용할 경우, 온도 조절이 매우 중요합니다. 너무 뜨거우면 기판이 손상되고, 너무 차가우면 접착이 제대로 되지 않습니다.
UHP 램프의 장점은 밀리초 단위로 반응한다는 것입니다. 열을 거의 즉시 켜고 끌 수 있습니다. 정밀한 제어 덕분에, 이전에는 필수적이었던 유해한 화학 용제나 가속제를 사용할 필요가 없습니다. VOC도 없고, 납이 포함된 플럭스도 필요 없습니다. 오직 깨끗한 적외선만 있으면 됩니다.
물론 한 가지 단점이 있습니다. 이 램프들은 아주 작은 공간에 엄청난 양의 열을 생성합니다. 그래서 전력 공급 장치에 큰 부담이 가며, 적절한 냉각 시스템이 필요합니다. 팬이나 히트 싱크가 제대로 작동하지 않으면, 램프 주변의 전자 부품들이 손상될 수 있습니다. 램프의 출력과 시스템이 열을 얼마나 빨리 배출할 수 있는지 사이의 균형을 찾아야 합니다. 그렇지 않으면 자주 고장 난 부품들을 교체해야 할 것입니다.
이 램프들은 청정실에서 사용되므로, 석영을 특별히 처리하여 가스가 배출되지 않도록 합니다. 그렇게 하면 램프에서 나오는 것들이 웨이퍼 위에 떨어지는 일이 없습니다. 간단하고 깨끗하며, 효과적인 방법입니다.